CAS 15112-89-7 Tris (διμεθυλαμινο) Σιλάνη (3DMAS)

Σχετικές μελέτες δείχνουν ότι η τριετ (διμεθυλαμίνη) σιλάνη, ως πρόδρομη πηγή, όχι μόνο έχει καλή σταθερότητα, υψηλή πίεση ατμών, αλλά επίσης δείχνει αρκετά υψηλή αντιδραστικότητα, έτσι ώστε αυτή η πηγή οργανοσιλικού έχει γίνει το επίκεντρο της έρευνας στην εναπόθεση SiO2 με μέθοδο ALD.

Χρησιμοποιείται για την κατηγορία αμοιβών, το αντιδραστήριο σιλανίου, το οργανοσυριτικό, τα ηλεκτρονικά χημικά, τις χημικές πρώτες ύλες.